【时间】2023年4月6日（周四）14：30 开始

【地点】线下讲座，9A103会议室

【主题】结构光照明高精度测量方法及其应用

【主讲人介绍】：谢仲业，拔尖青年博士，特聘副教授，主要从事三维精密测量研究。

【内容简介】 基于结构光调制度解析的三维测量方法具有高精度、非接触、高适应性等优点，在微纳器件形貌检测领域中应用广泛。 本报告主要讲述结构光照明三维测量方法的基本原理、发展趋势。在应用层面，本报告聚焦集成电路及新型显示中的核心部件掩膜缺陷检测问题，针对原有二维测量方法易出现漏检等问题，提出基于结构光调制结合横向扫描的掩膜缺陷检测方法，快速获得掩膜缺陷三维形貌数据，为缺陷检测提供可靠依据。

诚挚欢迎广大师生参加。